銅(Cu)的熱膨脹系數為αs=16.4×10-6 cm/cm·℃。銅的硬度比較大,銅制密封圈在使用前必須在真空或氫氣中進(jìn)行退火處理,消除內應力。無(wú)氧銅是目前超高真空密封聯(lián)接中常用的密封圈材料。其不足之處是高溫烘烤中與大氣接觸部分會(huì )氧化,因此,在要求高的情況下,將無(wú)氧銅的密封圈的表面鍍一層金,使其具有更好的密封性能。
作為聯(lián)接用的法蘭盤(pán)材料也必須能承受高溫烘烤以及在高溫時(shí)仍有良好的力學(xué)性能。常用的材料是不銹鋼。法蘭密封表面的粗糙度和尺寸就精度均應滿(mǎn)足超高真空密封的要求。
密封的功能就是阻止泄漏,有效阻止泄漏是對密封裝置的首要要求。密封性反映對泄漏的控制水平。對運動(dòng)密封而言,摩擦力是一個(gè)與運動(dòng)質(zhì)量有關(guān)的重要因素。而密封和摩擦總是互相制約。一般地說(shuō)提高密封性會(huì )帶來(lái)摩擦力的增加,摩擦力增加直接導致運動(dòng)能力與質(zhì)量的降低;并且摩擦力會(huì )加速密封的磨損。摩擦力還可能成為低壓系統負載的主要內容。密封的耐性的能力反映了可以密封的工作介質(zhì)的高壓力,是液壓氣動(dòng)密封的重要指標。
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